线共焦位移传感器 | 瑆创科技光学电商平台

SIMTRUM提供的线共焦3D测量传感器采用彩色激光共焦测量法，光源发出的白光激光通过超色差镜头形成一条超细条形测量光斑。测量光斑在被测物体表面不同的位置反射对应波长的光，从超色差镜头返回后经分光棱镜到光谱接收系统中。超色差镜头可以反馈出超高分辨率的表面灰度值，将高精度的表面高度测量值和高分辨率的表面灰度测量值叠加到一起实现超高分辨率的表面轮廓测量。与点共焦位移传感器相比，获得的信息量更大。同时内部机械结构采用囚笼式设计，具有超强的耐震动性，充分保证光学结构的稳定性。
采用ROCC技术(快速片上计算)的特殊CMOS传感器，拥有高达154亿像素/秒的图像处理能力，可以实现全幅模式下7000个轮廓/s的3D扫描速度。最高扫描速度可达64000个轮廓/s。

同时采用特制的彩色激光光源加之半导体工艺加工的狭缝滤光器件——实现极强能量的极小测量光斑。并且扫描线是一条真正的完整的光线，而不是同类产品用点拼接出来的线。在保证X方向4.3mm长的前提下，Y方向只有7um宽。利用超色差镜头可以反馈出分辨率超高的表面灰度测量值，将高精度的表面高度测量值和高分辨率的表面灰度测量值叠加到一起实现超高分辨率的表面轮廓测量。

特征

高精度最高可达0.1 μm
高分辨率
1.35千万个点/秒的点云数据采集能力
高扫描和测量速度，最快测量速度64KHz
稳定机械结构
多功能测量软件

测头规格

型号	SX01-L3D-5010	SX01-L3D-5020	SX01-L3D-5030	SX01-L3D-5040	SX01-L3D-5110
点数 / 轮廓线	1928	1928	1832	1832	2000
工作距离（mm）	11.5	11.5	10	10	36.5
Z 方向量程（mm）	0.77	0.8	1.3	1.3	3
X 方向测量范围（mm）	2.2	3.2	3	4.3	12
X 方向分辨率（μm）	1.2	1.7	1.6	2.4	6.2
Y 方向分辨率（μm）	2	2.5	2.5	3.5	7.5
Z 方向精度（μm）	0.1	0.1	0.3	0.5	1
Z 方向分辨率（μm）	0.01	0.01	0.03	0.05	0.2
角度特性（°）	±45°	±45°	±33.5°	±33.5°	±27°

软件功能

配备专门处理软件，可进行下图中多种操作，进行3D尺寸检测。

应用案例

参数	单位	平均	Min	Max	步骤1	步骤2	步骤3	步骤4
最大高度	μm	8.547	7.944	9.064	7.944	8.412	8.741	9.134
平均高度	μm	8.375	7.841	8.868	7.841	8.184	8.609	8.163

陶瓷电路灰度图

陶瓷电路涂层高度测量

参数	单位	步骤1
最大高度	μm	1.72
平均高度	μm	1.508

碳化硅晶圆划痕灰度图

碳化硅晶圆划痕深度测量

参数	单位	平均	Min	Max	步骤1	步骤2
最大高度	μm	12.62	12.56	12.68	12.55	12.68
平均高度	μm	11.11	11.04	11.18	11.04	11.18

MLCC电路灰度图

MLCC电路轮廓测量

参数	单位	步骤1	步骤2
最大高度	μm	4.428	9.634
平均高度	μm	4.094	9.583

Micro LED电路灰度图

Micro LED电路轮廓测量

尺寸（mm）


SX01-L3D-5010	SX01-L3D-5020

SX01-L3D-5030	SX01-L3D-5040

销售指引

如果您需要我们的技术团队就产品选型或定制提供指导，请提供以下技术信息，这将有助于加快流程。

项目	详情	单位	说明
应用领域？			适用领域包括电子元件、显示面板、镜片/玻璃等
需要测量的物体类型？			玻璃、高反射金属、陶瓷、超光滑表面/镜面等除此之外线共焦位移传感器还可测量陶瓷电路，人造皮革、生物化石等材料
需要测量的物体类型？			玻璃、高反射金属、陶瓷、超光滑表面/镜面等除此之外线共焦位移传感器还可测量陶瓷电路，人造皮革、生物化石等材料
测量类型？			需要测位移，高度，表面形貌，形变，还是其他
所需的测量范围？即量程要求？
对测量精度的要求？
测量的物体运动状态？静止or运动？			如果是运动物体，则需要较高的采样频率
测头到样品正中心的距离，即工作距离？

我们在这里为您服务！


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	Availability	Reference Price (USD)
SX01-L3D-5010 工作距离：11.5mm; Z方向量程：0.77mm; X方向测量范围：2.2mm; 点数/轮廓线：1928	4-6周	Request for quote
SX01-L3D-5020 工作距离：11.5mm; Z方向量程：0.8mm; X方向测量范围：3.2mm; 点数/轮廓线：1928	4-6周	Request for quote
SX01-L3D-5030 工作距离：10mm; Z方向量程：1.3mm; X方向测量范围：3mm; 点数/轮廓线：1832	4-6周	Request for quote
SX01-L3D-5040 工作距离：10mm; Z方向量程：1.3mm; X方向测量范围：4.3mm; 点数/轮廓线：1832	4-6周	Request for quote
SX01-L3D-5110 工作距离：36.5mm; Z方向量程：3mm; X方向测量范围：12mm; 点数/轮廓线：2000	4-6周	Request for quote

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特征

SX01-L3D-5110 - Parameter

SX01-L3D-5040 - Parameter

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