Simtrum所提供的EUV光源是一种以射频激发的流灯，具有细小孔径，并置于电磁干扰屏蔽外壳中。该灯可安装在33.78毫米或更大尺寸的CF型法兰上，灯具组件具有集成的射频激励器，由一个小型壁式插头电源供电。该电源足以产生主要中性稀有气体种类的发射，范围为每立体角10^15个光子每秒。当与共振VM系列单色仪耦合时，可以作为一个波长范围从58-800nm的可调光源。

产品特征

对于主要谱线，每秒每立体角发射大于10^15个光子
可提供58纳米以下的EUV光
质量轻
可轻松连接到单色仪，作为EUV可调光源使用
低像差

应用

半导体制造
材料科学
光电子设备
生物医学应用

规格参数

常规参数

输入电压	110-240V
电源	28W射频
电流	在110V下典型值为0.5A
质量	800克
强度	大于10^15 光子/秒/立体角（针对主要光谱线）
真空适配器	2 3/4" CF 法兰标准
波长重复性	±0.2nm

气体规格

种类	He	Ne	Ar	H	O	N	Cl	N2
波长	58.43	73.59 & 74.37	104.82 & 106.67	102.57 & 121.57	130.22, 130.48 & 130.61	120	118	LBH Bands

光谱曲线

产品尺寸

显微镜光源(185-5500nm)

产品类型	波长范围	输出功率	色温	寿命	灯泡电压/功率
氘灯（185 - 600nm）	185 - 600 nm	25W-30W (氘灯)	N/A	1,500 hours	照明电压 580 V@20 ℃
卤素灯（360 - 2500nm）	360 - 2500 nm	1.7-8.5 mW	2330K - 3000K	2,000 - 10,000 hours	3.5 V - 12 V
卤素灯（360 - 2500nm）	360 - 2500 nm	3.0-8.5 mW	2800K - 3000K	2,000 - 10,000 hours	5 - 20 W
红外钨丝灯（450-5500nm）	450 - 5500 nm	7.5 W	1900k	≥ 5,000 hours	N/A
校准光（250-1980nm）-汞氩	253 - 1700 nm	N/A	N/A	≥ 6,000 hours	N/A
校准光（250-1980nm）- 霓虹灯	540 - 754 nm	N/A	N/A	N/A	N/A
校准光（250-1980nm） - 氙灯	916 - 1984 nm	3 W	N/A	3,000 hours	N/A
氙气光源（200-2200nm）	200 - 2000 nm	8.0 mW	N/A	≥ 1,000 hours	50 W

单波长LED光源(240-980nm)

链接

非准直 LED 光源（340-980nm） / 50mW 至 900mW 电平

准直 LED 光源（240-980nm） / 15mW 至 10,000mW 电平

大功率光纤耦合 LED （255-980nm） / uW 至 40mW 电平

大功率滤波光纤耦合 LED （265 - 940nm）/ uW 至 10mW 电平

导光耦合 LED 光源（310-980nm） / 10mW 至 2500mW 电平

LED 光源控制器

多波长LED光源(240-980nm)

链接

光纤耦合多波长LED（365nm至980nm）

准直多波长LED（365nm至980nm）

波长切换LED光源（340nm至980nm）

LED光源控制器

ASE光源 (830-2000nm)

类型	光谱范围 (nm)	输出光功率(mW)
C波段宽带 ASE 光源（1528-1563nm）	1528 - 1563	10/20/50/100/200/400
L波段宽带ASE 光源（1567-1603nm）	1567 - 1603	10/20/50/100
C+L波段宽带ASE光源（1528-1603nm）	1528 - 1603	10/20/50/100/20 0
C++波段宽带ASE光源（1524-1572nm）	1524 - 1572	10/20/50/100/200
1060nm宽带ASE光源（1040-1080nm）	1030 - 1080	10/20/30/50
2000nm 宽带ASE光源（1850-2020nm）	1850 - 2000	10

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	Availability	Reference Price (USD)
LL-RE01-EUV-He-L 波长：58.43nm，波长重复性：±0.2nm，强度：>10^15 ph/sec/str(主要谱线) ，电源：28W RF	4-6周	$17552.31
LL-RE01-EUV-Ne 波长：73.59 & 74.37nm，波长重复性：± 0.2nm，强度：>10^15 ph/sec/str(主要谱线)，电源：28W RF	4-6周	$17552.31
LL-RE01-EUV-Ar-L 波长：104.82 & 106.67nm，波长重复性：±0.2nm，强度：>10^15 ph/sec/str(主要谱线)，电源：28W RF	4-6周	$17552.31
LL-RE01-EUV-H-L 波长：102.57 & 121.57nm，波长重复性：±0.2nm，强度：>10^15 ph/sec/str(主要谱线)，电源：28W RF	4-6周	$17552.31
LL-RE01-EUV-O-L 波长：130.22, 130.48 & 130.61nm，波长重复性：±0.2nm，强度：>10^15 ph/sec/str(主要谱线)，电源：28W RF	4-6周	$17552.31
LL-RE01-EUV-N-L 波长：120nm，波长重复性：±0.2nm，强度：>10^15 ph/sec/str(主要谱线)，电源：28W RF	4-6周	$17552.31
LL-RE01-EUV-Cl-L 波长：118nm，波长重复性：± 0.2nm，强度：>10^15 ph/sec/str(主要谱线)，电源：28W RF	4-6周	$17552.31
LL-RE01-EUV-N2-L 波长：LBH Bands，波长重复性：+/- 0.2nm，强度：>10^15 ph/sec/str(主要谱线)，电源：28W RF	4-6周	$17552.31

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显微镜光源(185-5500nm)

单波长LED光源(240-980nm)

多波长LED光源(240-980nm)

ASE光源 (830-2000nm)

LL-RE01-EUV-N2-L - Parameter

LL-RE01-EUV-Cl-L - Parameter

LL-RE01-EUV-N-L - Parameter

LL-RE01-EUV-O-L - Parameter

LL-RE01-EUV-H-L - Parameter

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